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Borrielli, A.; Bonaldi, M.; Serra, E.; Bagolini, A.; Bellutti, P.; Cataliotti, F. S.; Marin, F.; Marino, F.; Pontin, A.; Prodi, G. A.; Pandraud, G.; Sarro, P. M.; Lorito, G.; Zoumpoulidis, T. (2014)
Design of silicon micro-resonators with low mechanical and optical losses for quantum optics experiments
in Conference on Smart Sensors, Actuators and MEMS within the SPIE EUROPE Symposium on Microtechnologies, Grenoble, FRANCE, APR 24-26, 2013
"^^rdf:HTML ; pubblicazioni:autori "Borrielli, A.; Bonaldi, M.; Serra, E.; Bagolini, A.; Bellutti, P.; Cataliotti, F. S.; Marin, F.; Marino, F.; Pontin, A.; Prodi, G. A.; Pandraud, G.; Sarro, P. M.; Lorito, G.; Zoumpoulidis, T."^^xsd:string ; pubblicazioni:paginaInizio "907"^^xsd:string ; pubblicazioni:paginaFine "917"^^xsd:string ; pubblicazioni:numeroVolume "20"^^xsd:string . @prefix ns12: . prodotto:ID287007 pubblicazioni:rivista ns12:ID224884 ; pubblicazioni:pagineTotali "11"^^xsd:string ; pubblicazioni:numeroFascicolo "4-5"^^xsd:string ; skos:note "Scopus"^^xsd:string , "ISI Web of Science (WOS)"^^xsd:string ; pubblicazioni:affiliazioni "Institute of Materials for Electronics and Magnetism, Nanoscience -Trento-FBK Division, Via alla Cascata 56/C, 38123 Trento TN, Italy; Istituto Nazionale di Fisica Nucleare (INFN), Gruppo Collegato di Trento, 38123 Trento TN, Italy; Interdisciplinary Laboratory for Computational Science (LISC), FBK-University of Trento, 38123 Trento TN, Italy; Dipartimento di Fisica e Astronomia, Universit\u00E0 di Firenze, 50019 Sesto Fiorentino FI, Italy; European Laboratory for Non-Linear Spectroscopy (LENS), 50019 Sesto Fiorentino FI, Italy; Sezione di Firenze, INFN, 50019 Sesto Fiorentino FI, Italy; CNR-INO, L.go Enrico Fermi 6, 50125 Firenze, Italy; Dipartimento di Fisica, Universit\u00E0 di Trento, 38123 Trento TN, Italy; Microtechnology Laboratory FBK-CMM, 38123 Trento TN, Italy; Department of Microelectronics and Computer, Engineering /ECTM /DIMES, Feldmanweg, 17, CT 2628 Delft, Netherlands; Iszgro Diodes BV, P.O. 3032, DA 2601 Delft, Netherlands"^^xsd:string ; pubblicazioni:titolo "Design of silicon micro-resonators with low mechanical and optical losses for quantum optics experiments"^^xsd:string ; prodottidellaricerca:abstract "The interaction of the radiation pressure with micro-mechanical oscillators is earning a growing interest for its wide-range applications and for fundamental research. In this contribution we describe the fabrication of a family of opto-mechanical devices specifically designed to ease the detection of ponderomotive squeezing and of entanglement between macroscopic objects and light. These phenomena are not easily observed, due to the overwhelming effects of classical noise sources of thermal origin with respect to the weak quantum fluctuations of the radiation pressure. A low thermal noise background is required, together with a weak interaction between the micro-mirror and this background (i.e. high mechanical quality factors). In the development of our opto-mechanical devices, we heve explored an approach focused on relatively thick silicon oscillators with high reflectivity coating. The relatively high mass is compensated by the capability to manage high power at low temperatures, owing to a favourable geometric factor (thicker connectors) and the excellent thermal conductivity of silicon crystals at cryogenic temperature. We have measured at cryogenic temperatures mechanical quality factors up to 10(5) in a micro-oscillator designed to reduce as much as possible the strain in the coating layer and the consequent energy dissipation. This design improves an approach applied in micro-mirror and micro-cantilevers, where the coated surface is reduced as much as possible to improve the quality factor. The deposition of the highly reflective coating layer has been carefully integrated in the micro-machining process to preserve its low optical losses."@en ; prodottidellaricerca:prodottoDi modulo:ID8491 , modulo:ID5649 , modulo:ID7965 , istituto:CDS052 ; pubblicazioni:autoreCNR unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA14503 , unitaDiPersonaleEsterno:ID25057 , unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA15582 , unitaDiPersonaleEsterno:ID16906 , unitaDiPersonaleEsterno:ID19293 . ns12:ID224884 pubblicazioni:rivistaDi prodotto:ID287007 . unitaDiPersonaleEsterno:ID25057 pubblicazioni:autoreCNRDi prodotto:ID287007 .