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R. Leoni; A. Gaggero; F. Mattioli; M.G. Castellano; P. Carelli; F. Marsili, D. Bitauld, M. Benkahoul, F. L\u00E9vy and A. Fiore (2008)
Characterization of Superconducting Single Photon Detectors fabricated on MgO substrates
in Journal of low temperature physics
"^^rdf:HTML ; pubblicazioni:autori "R. Leoni; A. Gaggero; F. Mattioli; M.G. Castellano; P. Carelli; F. Marsili, D. Bitauld, M. Benkahoul, F. L\u00E9vy and A. Fiore"^^xsd:string ; pubblicazioni:paginaInizio "580"^^xsd:string ; pubblicazioni:numeroVolume "151"^^xsd:string . @prefix ns12: . prodotto:ID25191 pubblicazioni:rivista ns12:ID395009 ; skos:note "ISI Web of Science (WOS)"^^xsd:string ; pubblicazioni:affiliazioni "Istituto di Fotonica e Nanotecnologie, CNR, Via Cineto Romano 42, 00156 Roma, Italy\nUniversit\u00E0 dell'Aquila, Monteluco di Roio, 67040 L'Aquila, Italy\nEcole Polytechnique F\u00E9d\u00E9rale de Lausanne, Station 3, 1015 Lausanne, Switzerland"^^xsd:string ; pubblicazioni:titolo "Characterization of Superconducting Single Photon Detectors fabricated on MgO substrates"^^xsd:string ; prodottidellaricerca:abstract "Electrical and optical characterization has been performed on several\nsuperconducting single photon detectors (SSPDs) consisting of meanders made of\nultrathin NbN films. The NbN films, with thickness ranging from 150 nm to 3 nm,\nwere deposited by dc magnetron sputtering on MgO substrates kept at temperature\nT = 400\u00B0C. This deposition process carried out at low temperature opens the way of\nmonolithic integration with other photonic devices. The superconducting properties\nof NbN films and the critical design parameters that affect the quantum efficiency\n(QE) have been optimized. In particular, by measuring the switching current distribution\nof each stripe of the meander the process uniformity has been studied. Optical\nmeasurements on the fabricated SSPDs showed a QE ? 20% at 4.2 K for photons\nwith a wavelength of 1300 nm." ; prodottidellaricerca:prodottoDi istituto:CDS036 , modulo:ID2790 ; pubblicazioni:autoreCNR unitaDiPersonaleEsterno:ID6765 , unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA12459 , unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA3508 , unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA10530 . ns12:ID395009 pubblicazioni:rivistaDi prodotto:ID25191 .