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G. Bruno1, P. Capezzuto2, G. Cicala1, F. Cramarossa2 (1988)
Glow Discharge Deposition of a-Si:H from SiH4-H2 Mixtures: Langmuir Probes and Optical Emission Spectroscopy for Plasma Diagnostics
in Gordon Research Conference on Plasma Chemistry, Tilton N.H. (USA), August 1988
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