@prefix pubblicazioni: . @prefix unitaDiPersonaleEsterno: . @prefix prodotto: . unitaDiPersonaleEsterno:ID16541 pubblicazioni:autoreCNRDi prodotto:ID180183 . unitaDiPersonaleEsterno:ID8422 pubblicazioni:autoreCNRDi prodotto:ID180183 . @prefix prodottidellaricerca: . @prefix modulo: . modulo:ID5667 prodottidellaricerca:prodotto prodotto:ID180183 . @prefix unitaDiPersonaleInterno: . unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA11643 pubblicazioni:autoreCNRDi prodotto:ID180183 . @prefix rdf: . @prefix retescientifica: . prodotto:ID180183 rdf:type retescientifica:ProdottoDellaRicerca , prodotto:TIPO1101 . @prefix rdfs: . prodotto:ID180183 rdfs:label "Spectroscopic ellipsometry study of hydrogenated amorphous silicon carbon alloy films deposited by PECVD (Articolo in rivista)"@en . @prefix xsd: . prodotto:ID180183 pubblicazioni:anno "2010-01-01T00:00:00+01:00"^^xsd:gYear ; pubblicazioni:doi "10.1063/1.3277016"^^xsd:string . @prefix skos: . prodotto:ID180183 skos:altLabel "
D.K. Basa; G. Abbate; G. Ambrosone; U.Coscia; A. Marino (2010)
Spectroscopic ellipsometry study of hydrogenated amorphous silicon carbon alloy films deposited by PECVD
in Journal of applied physics
"^^rdf:HTML ; pubblicazioni:autori "D.K. Basa; G. Abbate; G. Ambrosone; U.Coscia; A. Marino"^^xsd:string ; pubblicazioni:paginaInizio "023502/1"^^xsd:string ; pubblicazioni:paginaFine "023502/6"^^xsd:string ; pubblicazioni:numeroVolume "107"^^xsd:string . @prefix ns11: . prodotto:ID180183 pubblicazioni:rivista ns11:ID289194 ; pubblicazioni:pagineTotali "6"^^xsd:string ; skos:note "ISI Web of Science (WOS)"^^xsd:string ; pubblicazioni:affiliazioni "[D.K. Basa] Department of Physics, Utkal University, Bhubaneswar, India\n[G. Abbate, G. Ambrosone, U. Coscia] Dipartimento di Scienze Fisiche, Complesso Universitario MSA, via Cintia, 80126 Napoli, Italy\n[G. Abbate, G. Ambrosone, A. Marino] CNR-INFM CRS-Coherentia, Complesso Universitario MSA, via Cintia, 80126 Napoli, Italy\n[u. Coscia] CNISM Unit\u00E0 di Napoli, Complesso Universitario MSA, via Cintia, 80126 Napoli, Italy\nCNR-INFM CRS-Coherentia, Complesso Universitario MSA, via Cintia, 80126 Napoli, Italy"^^xsd:string ; pubblicazioni:titolo "Spectroscopic ellipsometry study of hydrogenated amorphous silicon carbon alloy films deposited by PECVD"^^xsd:string ; prodottidellaricerca:abstract "The optical properties of the hydrogenated amorphous silicon carbon alloy films, prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition technique from silane and methane gas mixture diluted in helium, have been investigated using variable angle spectroscopic ellipsometry in the photon energy range from 0.73 to 4.59 eV. Tauc-Lorentz model has been employed for the analysis of the optical spectra and it has been demonstrated that the model parameters are correlated with the carbon content as well as to the structural properties of the studied films."@en ; prodottidellaricerca:prodottoDi modulo:ID5667 ; pubblicazioni:autoreCNR unitaDiPersonaleEsterno:ID16541 , unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA11643 , unitaDiPersonaleEsterno:ID8422 . @prefix parolechiave: . prodotto:ID180183 parolechiave:insiemeDiParoleChiave . ns11:ID289194 pubblicazioni:rivistaDi prodotto:ID180183 . parolechiave:insiemeDiParoleChiaveDi prodotto:ID180183 .