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Canavese G.; Marasso S.L.; Quaglio M.; Cocuzza M.; Ricciardi C.; Pirri C.F. (2007)
Polymeric mask protection for alternative KOH silicon wet etching
in Journal of micromechanics and microengineering (Print); IOP Publishing Ltd. (Institute of Physics Publishing Ltd), \"Bristol ; London\" (Regno Unito)
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