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Cappelli E. 1; Scilletta C. 1; Orlando S. 2; Valentini V. 1; Servidori M. 3 (2009)
Laser annealing of amorphous carbon films
in Applied surface science
"^^rdf:HTML ; pubblicazioni:autori "Cappelli E. 1; Scilletta C. 1; Orlando S. 2; Valentini V. 1; Servidori M. 3"^^xsd:string ; pubblicazioni:paginaInizio "5620"^^xsd:string ; pubblicazioni:paginaFine "5625"^^xsd:string ; pubblicazioni:numeroVolume "255"^^xsd:string . @prefix ns12: . prodotto:ID171800 pubblicazioni:rivista ns12:ID462870 ; pubblicazioni:note "Laser and Plasma in Micro- and Nano-Scale Materials Processing and Diagnostics - Proceedings from the European Material Research Society Spring Meeting 2008 \u0096 Symposium B."^^xsd:string ; pubblicazioni:pagineTotali "6"^^xsd:string ; pubblicazioni:numeroFascicolo "10"^^xsd:string ; skos:note "ISI Web of Science (WOS)"^^xsd:string , "Scopu"^^xsd:string ; pubblicazioni:affiliazioni "1) CNR-ISC, Montelibretti, via Salaria km 29.3, P.O. Box 10, 00016 Rome, Italy\n2) CNR-IMIP, sez. Potenza, 85050 Tito Scalo, Potenza, Italy\n3) CNR-IMM sez. Bologna, Via P. Gobetti 101, 40129 Bologna, Italy"^^xsd:string ; pubblicazioni:titolo "Laser annealing of amorphous carbon films"^^xsd:string ; prodottidellaricerca:abstract "Amorphous (a-C) Carbon thin films were deposited, using pulsed laser deposition (PLD) with a Nd:YAG laser ( 1064 nm, 7 ns), from a pyrolytic graphite target, on < 1 0 0 > silicon and refractory metal (Mo) substrates to a film thickness of 55, 400 and 500 nm. Samples were grown at RT and then annealed by a laser annealing technique, to reduce residual stress and induce a locally confined \\\"graphitization'' process.\nThe films were exposed to irradiation, in vacuum, by a Nd: YAG pulsed laser, operating at different wavelengths ( VIS, N-UV) and increasing values of energy from 6-100 mJ/pulse. The thinner films were completely destroyed by N-UV laser treatment also at lower energies, owing to the almost direct propagation of heat to the Si substrate with melting and ruinous blistering effects.\nFor thicker films the Raman micro-analysis evidenced the influence of laser treatments on the sp(3)/sp(2) content evolution, and established the formation of aromatic nano-structures of average dimension 4.1 divided by 4.7 nm ( derived from the I-D/I-G peak ratio), at fluence values round 50 mJ/cm(2) for N-UV and 165 mJ/cm(2) for VIS laser irradiation. Higher fluences were not suitable for a-Carbon \\\"graphitization'', since a strong ablation process was the prominent effect of irradiation.\nGrazing incidence XRD (GI-XRD) used to evaluate the dimension and texturing of nano-particles confirmed the findings of Raman analysis. The effects of irradiation on surface morphology were studied by SEM analysis."@en ; prodottidellaricerca:prodottoDi istituto:CDS057 , modulo:ID2164 , istituto:CDS054 , modulo:ID6335 , modulo:ID2146 ; pubblicazioni:autoreCNR unitaDiPersonaleEsterno:ID2442 , unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA5626 , unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA790 , unitaDiPersonaleEsterno:ID2649 , unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA19366 . @prefix parolechiave: . prodotto:ID171800 parolechiave:insiemeDiParoleChiave . ns12:ID462870 pubblicazioni:rivistaDi prodotto:ID171800 . parolechiave:insiemeDiParoleChiaveDi prodotto:ID171800 .