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Rizzoli R., Angelucci R., Veronese G. P., Suriano F., A. Montanari (2007)
Sistema CVD a due camere per la deposizione di nanotubi di carbonio in diversi regimi
"^^rdf:HTML ; pubblicazioni:autori "Rizzoli R., Angelucci R., Veronese G. P., Suriano F., A. Montanari"^^xsd:string ; pubblicazioni:altreInformazioni "Progetto finanziato parzialmente da altri enti:\n- progetto iniziale con Universit\u00E0 di Bologna - Dipartimento di Fisica per apparecchiature di ricerca di media grandezza (Prof. M. Cuffiani) \n- due progetti INFN: Nanochant1 e Nanochant2(Dr. F. Odorici, Dr. L. Malferrari, A. Montanari, M. Dellavalle)"^^xsd:string ; pubblicazioni:affiliazioni "IMM -Bologna\nINFN - sezione di Bologna"^^xsd:string ; pubblicazioni:titolo "Sistema CVD a due camere per la deposizione di nanotubi di carbonio in diversi regimi"^^xsd:string ; pubblicazioni:descrizioneSintetica "Completamento della costruzione di un sistema CVD con una camera a pareti raffreddate ed una a pareti calde che possono lavorare in 3 diversi regimi di pressione: atmosferica, ridotta (fino a 10-3 Torr) e bassa pressione (da 10-3 fino a 10-7 Torr) e che permette di depositare omogeneamente nanotubi di carbonio su substrati piatti di dimensioni massime di 25 cm2 o 40 cm2 a seconda della camera."^^xsd:string ; prodottidellaricerca:prodottoDi istituto:CDS057 , modulo:ID5524 ; pubblicazioni:autoreCNR unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA18585 , unitaDiPersonaleEsterno:ID2265 , unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA1204 , unitaDiPersonaleEsterno:ID8037 .