@prefix pubblicazioni: . @prefix unitaDiPersonaleInterno: . @prefix prodotto: . unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA18585 pubblicazioni:autoreCNRDi prodotto:ID149098 . unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA42155 pubblicazioni:autoreCNRDi prodotto:ID149098 . @prefix prodottidellaricerca: . @prefix istituto: . istituto:CDS057 prodottidellaricerca:prodotto prodotto:ID149098 . unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA29356 pubblicazioni:autoreCNRDi prodotto:ID149098 . unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA1204 pubblicazioni:autoreCNRDi prodotto:ID149098 . unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA7022 pubblicazioni:autoreCNRDi prodotto:ID149098 . @prefix rdf: . @prefix retescientifica: . prodotto:ID149098 rdf:type retescientifica:ProdottoDellaRicerca , prodotto:TIPO1725 . @prefix rdfs: . prodotto:ID149098 rdfs:label "Metodologie di crescita di nanotubi di carbonio mediante deposizione chimica da fase vapore su substrati patternati e in nanostampi (Progetti)"@en . @prefix xsd: . prodotto:ID149098 pubblicazioni:anno "2003-01-01T00:00:00+01:00"^^xsd:gYear . @prefix skos: . prodotto:ID149098 skos:altLabel "
Angelucci R. 1, Rizzoli R. 1, Guerri S. 1, Parisini A. 1, Corticelli F. 1, Vinciguerra V. 2, Bevilacqua F 3., Dallavalle M. 3, Odorici F. 3, Malferrari L. 3 , Montanari A. 3, Cuffiani M. 4 (2003)
Metodologie di crescita di nanotubi di carbonio mediante deposizione chimica da fase vapore su substrati patternati e in nanostampi
"^^rdf:HTML ; pubblicazioni:autori "Angelucci R. 1, Rizzoli R. 1, Guerri S. 1, Parisini A. 1, Corticelli F. 1, Vinciguerra V. 2, Bevilacqua F 3., Dallavalle M. 3, Odorici F. 3, Malferrari L. 3 , Montanari A. 3, Cuffiani M. 4"^^xsd:string ; pubblicazioni:altreInformazioni "La metodologia di crescita dei nanotubi di carbonio \u00E8 di interesse sia nel campo dei rivelatori di particelle, che in quello delle memorie ad elevata risoluzione ed \u00E8 stata sviluppata con il finanziamento di un progetto INFN e Universit\u00E0 di Bologna (NANOCHANT 2001-2003) e di un progetto FISR (2003-2004) per i Microsistemi e le Nanotecnologie del MIUR in collaborazione con unit\u00E0 CNR, Universit\u00E0 di Roma tre ed STMicroelectronics."^^xsd:string ; pubblicazioni:affiliazioni "1 IMM-CNR Sezione di Bologna, 2 STMicroelectronics, 3 INFN Sezione Bologna, 4 Dipartimento di Fisica Universit\u00E0 di Bologna\n"^^xsd:string ; pubblicazioni:titolo "Metodologie di crescita di nanotubi di carbonio mediante deposizione chimica da fase vapore su substrati patternati e in nanostampi"^^xsd:string ; pubblicazioni:descrizioneSintetica "Con l'obiettivo di ottenere strutture organizzate di nanotubi di carbonio , con propriet\u00E0 , posizione e orientazione definite , si sono sviluppate tecnologie di preparazione dei substrati, deposizione del catalizzatore metallico e crescita mediante CVD dei nanotubi di carbonio. In particolare \u00E8 stato messo a punto un metodo di preparazione di nanostampi di allumina porosa mediante ossidazione anodica di alluminio. All'interno dei pori di allumina , paralleli fra loro e perpendicolari alla superficie con dimensioni e distanze controllate, sono stati deposti per elettrodeposizione cobalto o nickel con la funzione di catalizzatori della successiva crescita dei nanotubi. Sono stati inoltre studiati altri tipi di substrati opportunamente patternati con il catalizzatore deposto per evaporazione (ferro e nickel). Sono stati messi a punto il trattamento termico del catalizzatore e i principali parametri del processo di deposizione, quali temperatura, concentrazione delle specie gassose contenenti carbonio, tempi e flussi. I processi di deposizione dei nanotubi di carbonio sono stati eseguiti in un reattore opportunamente progettato e realizzato."^^xsd:string ; prodottidellaricerca:prodottoDi istituto:CDS057 ; pubblicazioni:autoreCNR unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA29356 , unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA18585 , unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA1204 , unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA7022 , unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA42155 . @prefix parolechiave: . prodotto:ID149098 parolechiave:insiemeDiParoleChiave . parolechiave:insiemeDiParoleChiaveDi prodotto:ID149098 .