@prefix pubblicazioni: . @prefix unitaDiPersonaleInterno: . @prefix prodotto: . unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA16797 pubblicazioni:autoreCNRDi prodotto:ID147926 . @prefix prodottidellaricerca: . @prefix istituto: . istituto:CDS056 prodottidellaricerca:prodotto prodotto:ID147926 . unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA1724 pubblicazioni:autoreCNRDi prodotto:ID147926 . @prefix rdf: . prodotto:ID147926 rdf:type prodotto:TIPO1729 . @prefix retescientifica: . prodotto:ID147926 rdf:type retescientifica:ProdottoDellaRicerca . @prefix rdfs: . prodotto:ID147926 rdfs:label "Microscopio a sonda metrologico (Manufatti, prototipi d'arte e relativi progetti)"@en . @prefix xsd: . prodotto:ID147926 pubblicazioni:anno "2002-01-01T00:00:00+01:00"^^xsd:gYear . @prefix skos: . prodotto:ID147926 skos:altLabel "
Picotto G.B., Pisani M., Pasquini M. (2002)
Microscopio a sonda metrologico
"^^rdf:HTML ; pubblicazioni:autori "Picotto G.B., Pisani M., Pasquini M."^^xsd:string ; pubblicazioni:altreInformazioni "Il microscopio \u00E8 stato impiegato in confronti internazionali sulla nanometrologia in ambito EUROMET (Euromet 707) e SPMet (rete tematica europea sulla taratura dei microscopi a sonda: R. Breil et al, Intercomparison of scanning probe microscopes, Precision Engineering Vol 26(3), 2002, pp. 296-305)"^^xsd:string ; pubblicazioni:affiliazioni "1,2 - Istituto di Metrologia \\\"G. Colonnetti\\\" del Consiglio Nazionale delle Ricerche, Strada delle Cacce 73, 10135 Torino, Italy; \n3 - Dottorato di Ricerca in Metrologia"^^xsd:string ; pubblicazioni:titolo "Microscopio a sonda metrologico"^^xsd:string ; pubblicazioni:descrizioneSintetica "I microscopi a sonda sono a tutt\u0092oggi gli strumenti con la pi\u00F9 elevata risoluzione (risoluzione atomica) per l\u0092analisi della topografia superficiale e per misure quantitative di alcune dimensioni critiche di superfici litografate e nanostrutturate, per le quali sono ormai richieste incertezze entro il nanometro.\nUn microscopio a sonda con caratteristiche metrologiche \u00E8 stato realizzato all'IMGC e viene utilizzato per la misura di dimensioni critiche in strutture regolari (reticoli, griglie, gradini, etc.) cos\u00EC come per osservare parametri critici di strutture irregolari (granularit\u00E0 di film evaporati, rugosit\u00E0 di superfici, etc.). \nLa struttura principale del microscopio \u00E8 la base che ospita il sistema di movimentazione del campione. Su di essa pu\u00F2 essere montata una \u0093testa\u0094 a forza atomica o una \u0093testa\u0094 a effetto tunnel a seconda delle esigenze di misura. Il dispositivo di scansione xyz del campione opera con controllo degli spostamenti basato su sistemi interferometrici e capacitivi. In alternativa, il microscopio utilizza anche un dispositivo di scansione della punta, basato su un parallegramma flessibile a lamine piezoelettriche bimorfe e con sensori capacitivi integrati per il controllo degli spostamenti. \nIl microscopio tunnel usa punte in tungsteno fabbricate con un metodo originale per ottenere uno stretto cono di apertura e raggio di curvatura al vertice di circa 10-20 nm, tali da ridurre gli errori di ricostruzione dovuti alla forma finita della punta.\n"^^xsd:string ; prodottidellaricerca:prodottoDi istituto:CDS056 ; pubblicazioni:autoreCNR unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA16797 , unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA1724 . @prefix parolechiave: . prodotto:ID147926 parolechiave:insiemeDiParoleChiave . parolechiave:insiemeDiParoleChiaveDi prodotto:ID147926 .