@prefix prodottidellaricerca: . @prefix istituto: . @prefix prodotto: . istituto:CDS052 prodottidellaricerca:prodotto prodotto:ID113826 . @prefix pubblicazioni: . @prefix unitaDiPersonaleInterno: . unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA6558 pubblicazioni:autoreCNRDi prodotto:ID113826 . @prefix modulo: . modulo:ID2455 prodottidellaricerca:prodotto prodotto:ID113826 . @prefix rdf: . prodotto:ID113826 rdf:type prodotto:TIPO1304 . @prefix retescientifica: . prodotto:ID113826 rdf:type retescientifica:ProdottoDellaRicerca . @prefix rdfs: . prodotto:ID113826 rdfs:label "Investigation of silicon oxynitride and amorphous silicon multilayers (Abstract/Poster in convegno)"@en . @prefix xsd: . prodotto:ID113826 pubblicazioni:anno "2003-01-01T00:00:00+01:00"^^xsd:gYear . @prefix skos: . prodotto:ID113826 skos:altLabel "
Serenyi M., Frigeri C. (2003)
Investigation of silicon oxynitride and amorphous silicon multilayers
in DRIP X - 10h International Conference on Defects: Recognition, Imaging and Physics of Semiconductors, Batz-sur-Mer (Francia), 29 sett. - 2 ott. 2003
"^^rdf:HTML ; pubblicazioni:autori "Serenyi M., Frigeri C."^^xsd:string ; pubblicazioni:paginaInizio "158"^^xsd:string ; pubblicazioni:paginaFine "158"^^xsd:string ; pubblicazioni:titoloVolume "Abstract book"^^xsd:string ; skos:note "Abstract"^^xsd:string ; pubblicazioni:affiliazioni "1 Research Institute for Technical Physics and Materials Science, Hungarian Academy of Sciences, P.O. Box 49, H-1525 Budapest, Hungary; 2 CNR- IMEM Institute, Parco Area delle Scienze 37/A, 43100 Parma, Italy"^^xsd:string ; pubblicazioni:titolo "Investigation of silicon oxynitride and amorphous silicon multilayers"^^xsd:string ; prodottidellaricerca:prodottoDi istituto:CDS052 , modulo:ID2455 ; pubblicazioni:autoreCNR unitaDiPersonaleInterno:MATRICOLA6558 . @prefix parolechiave: . prodotto:ID113826 parolechiave:insiemeDiParoleChiave . parolechiave:insiemeDiParoleChiaveDi prodotto:ID113826 .